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화웨이, ASML과 다른 반도체 제조방식 SAQP 특허신청
- 중국 통신기기 제조업체 화웨이(華為技術)는 중국 내 반도체 협력업체와 공동으로 첨단반도체 조제방법을 특허신청했다. 블룸버그통신 등 외신들은 22일(현지시간} 화웨이와 중국 국영 반도체제조장치 제조업체 시캐리어(深圳市新凱来技術) 양사는 4배의 밀도로 패턴을 형성하는 자기정렬 4중패터닝(SAQP, Self-Aligned Quadruple Patterning)을 중국 국구지식산재국에 특허신청했다. SAQP는 고도의 리소그라피(노광)기술에 대한 의존도를 줄일 수 있다. 네덜란드의 ASML홀딩스가 보유한 최첨단 극자외선(EUV) 노광장치를 사용하지 않아도 첨단반도체를 제조할 수 있게 되는 것이다. EUV 노광장치는 ASML만 제조할 수 있지만 수출규제로 중국에 판매할 수 없다. 이날 공개된 화웨이의 신청서에는 SAQP를 이용해 첨단반도체를 제조하는 방법이 설명되고 있다. 화웨이는 신청서에 “이 특허를 채택해 회로 패턴을 설계하는 자유도가 높아진다”고 지적했다. 화웨이와 협업하는 시캐리어는 올해 SAQP에 관련한 기술특허를 취득했다. 5나노(나노는 10억분의 1) 미터 반도체의 기술요건을 달성하기 위한 심자외선(DUV) 노광장치와 반도체제조장치 SAQP기술이 이 특허에서 언급되고 있다. EUV 노광장치를 사용하지 않고도 제조비용을 낮출 수 있는 것이다. 조사회사 테크인사이츠의 단 해치슨 부회장은 SAQO는 중국이 5나노 반도체를 제조하는데에는 부족하지만 장기적으로는 EUV 노광장치가 필요하다. 그는 “EUV 노광장비가 없는 기술적인 문제를 완화시킬 수 있어도 완전하게 극복할 수 없다”고 덧붙였다. 대만의 TSMC 등 반도체기업들은 첨단반도체의 제조에 EUV 노광장치를 사용한다. 생산비용을 최저한으로 억제할수 있기 때문이다. 화웨이와 협력상대가 대체방법으로 제조할 경우 제조비용은 업계표준을 넘어설 가능성이 있다.
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- IT/바이오
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화웨이, ASML과 다른 반도체 제조방식 SAQP 특허신청
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ASML, EUV 수요급증에 지난해 4분기 실적 호조⋯수주 사상최고치
- 네덜란드 반도체 제조장비 제조업체 ASML홀딩스가 지난해 4분기 기록한 매출액과 순이익이 예상치를 넘어섰으며 수주도 사상최고치를 거두었다. 24일(현지시간) 로이터통신 등 외신들에 따르면 ASML은 지난해 4분기 순이익이 9% 증가한 20억 유로(약 2조9060억 원)를 거두었다고 밝혔다. 이는 LSEG가 집계한 예상치 18억700만 유로를 넘어선 수치다. 또한 매출액은 72억 유로를 기록해 예상치인 69억 유로보다 많았다. ASML의 실적호조는 최첨단 극자외선(EUV) 리소그래피장치의 수요가 급증한 때문으로 분석된다. ASML은 최첨단 반도체를 제조하기 위해 필요한 제조장치 EUV 리소그래피를 만드는 유일한 기업이며 이 제폼에 대한 수요는 반도체업계의 업황을 보여주는 지표다. ASML은 지난해말 인텔에 최신 반도체칩 제조장치의 주요부품의 출하를 개시했다. 수주는 90억 유로를 넘어섰으며 지난해 3분기의 3배이상 규모를 확보했지만 인공지능(AI)용 반도체의 수요호조에도 불구하고 올해 매출액 증가율은 보합수준의 전망을 유지했다. 지난해 4분기 최첨단 EUV리소그래피 장치의 수주는 56억 유로를 차지했다. 다만 ASML은 올해 전망에 대해서는 중국용 수출에 새로운 규제가 가해지는 상황에서 신중한 자세를 보였다. 중국에 대해서는 지난해에 합의된 미국과 네덜란드의 새로운 수출규제의 영향이 2024년에 미칠 것이라며 중국 매출액의 최대 15% 영향을 미칠 것이라고 예상했다. ASML로서는 중국은 대만과 한국에 이어 세번째로 큰 시장이다. 이와 함께 지난해 10월에 도입된 미국의 직접적인 수출제한으로 일부 공장은 'NXT:1970i'와 'NXT:1980i'에 대해서도 수출허가를 받지 못할 것으로 설명했다. 다만 구형의 장치에 대한 중국으로부터의 수요는 여전히 매우 강해 올해도 견고한 추이를 보일 것으로 예상했다. NXT:1970i 모댈은 TWINSCAN NXT 시리즈의 리소그래피 시스템중 하나다. 이 모델은 특히 고생산성, 듀얼-스테이지 잠수 리소그래피 도구로 설계되었으며, 성숙한 노드에서 300mm웨이퍼의 대량 생산에 적합하다. 피터 웨닝크 최고경영자(CEO)는 "반도체업계는 여전히 사이클의 바닥에 있다"고 말했다. 그는 "고객은 올해 반도체시장의 회복에 여전히 확신을 가지고 있지 않지만 밝은 징후는 있다"면서 그 이유로 반도체수요 개선과 공장 가동율 상승을 들었다. 로저 닷센 최고재무책임자(CFO)는 "반도체 제조장치의 가동률은 향상되고 있으며 최종고객의 재고는 감소하고 있다"면서 "인공지능(AI)에 대한 발전이 ASML의 2025년 사업에 매우 큰 기여를 할 것"이라고 밝혔다. ASML 주가는 암스테르담 시장에서 9.7% 높은 775.80유로로 사상 최고치로 거래를 종료했다.
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ASML, EUV 수요급증에 지난해 4분기 실적 호조⋯수주 사상최고치
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중국, 안보 우려로 반도체관련 희토류 등 가공기술 수출 금지
- 중국정부는 21일(현지시간) 희토류의 추출과 분리기술의 수출을 금지했다. 이날 로이터통신 등 외신들은 중국정부가 반도체 재료가 되는 갈륨∙게르마늄 등 희토류에 대한 수출규제에 이어 수출금지에 나선 것은 전략적 광물에서 지배적 지위를 유지하기 위한 조치로 보인다고 보도했다. 중국 상무부는 지난해 12월에 희토류의 가공기술에 대해 국가안전보장과 공공의 이익을 보호하기 위한 목적으로 한 '수출금지∙제한기술 목록'에 추가하는 방향으로 일반국민 의견을 모아왔다. 희토류 금속∙합금재료의 생산기술과 일부 희토류 자석 제조기술의 수출도 금지했다. 미국과 유럽국가들은 독자 희토류 가공산업을 진흥시키는데 힘을 쏟아왔다. 하지만 이번 금수조치는 전기자동차(EV)의 모터와 의료기기, 무기에 사용돼 중국이 사실상 독점상태에 있는 소위 ‘중희토류’에 대한 영향이 크게 미칠 것으로 판단된다. 컨설팅회사 벤치마크 미네랄 인텔리전시는 중국이 전세계 희토류 99.9%의 분리를 차지하고 있으며 미국과 유럽이 신설하고 있는 가공설비는 주로 네오디뮴과 프라세요디뮴 등 경희토류를 다루고 있다. 중국은 올해 8월에 반도체지료의 갈륨과 게르마늄의 수출규제를 도입했다. 12월 1일부터는 EV의 주요재료인 그라파이트(흑연) 제품의 일부도 수출 허가제를 적용했다. 미국 와이오밍주에서 희토류의 광산을 개발하는 아메리칸 레어 어스의 돈 슈월츠 최고경영자(CEO)는 "중국이 시장의 지배적입장의 유지를 밀어붙이고 있다"고 지적했다. 중국은 미국과 유럽의 희토류기업이 고전하고 있는 희토류 정제를 위한 용매추출 공정을 확립하고 있다. 다만 그 기술이 실제로 어느 정도 수출되고 있는지는 분명치 않다. 캐나다의 희토류기업 네오퍼포먼스머티리얼스의 전 CEO 콘스탄틴 칼야노포로스는 "중국정부가 몇년전부터 희토류기술의 수출을 제한해왔다"면서 "모두가 이미 알고 있는 사실이 정식으로 발표된 것 뿐"이라고 말했다.
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중국, 안보 우려로 반도체관련 희토류 등 가공기술 수출 금지
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미 상무부 "중국 수출통제 피하려 수정설계한 엔비디아 AI 칩도 규제" 경고
- 지나 러몬도 미국 상무장관은 엔비디아와 같은 인공지능(AI) 반도체 제조업체가 중국 등 적대 국가 대상 수출통제를 우회할 목적으로 수정 설계한 칩에 대해서도 신속하게 단속할 것이라고 경고했다. 4일(현지시간) 폭스뉴스와 야후 파이낸스 등 다수 외신에 따르면 러몬도 장관은 지난 2일 미 캘리포니아주에서 열린 레이건 국방포럼(RNDF)에 참석해 "우리는 중국이 이 같은 칩을 손에 넣는 것을 내버려 둘 수 없다. 단언컨대, 우리는 우리의 최첨단 기술을 중국에 넘겨줄 수 없다"고 말했다. 상무부는 최첨단 AI 칩이 중국과 같은 국가에 이중 용도로 판매되는 것을 제한하여 중국의 군사 현대화를 지원하는 동시에 경제 및 기술 경쟁력을 강화할 수 있도록 설계된 수출 통제를 시행하고 있다. 수출 통제는 기업이 해당 제품을 해외에 판매하려면 연방 기관의 허가를 받아야 하며, 이는 사실상 정부가 거래에 대한 거부권을 행사하는 것과 같다. 칩 제조업체들은 수출 규제의 영향을 받는 수익성 높은 해외 시장에 계속 접근하기 위해 규정을 준수할 수 있도록 수정된 버전의 칩을 재설계했다. 이에 따라 미 상무부는 재설계된 칩에 대해 새로운 규제를 가하면서 두더쥐게임 양상을 벌이고 있는 가운데 러몬도 장관의 발언이 나왔다. 러몬도 장관은 지난 2일 "이 자리에 참석한 칩 제조업체 최고경영자(CEO) 가운데 매출 감소를 이유로 나의 언급에 짜증이 나는 분들이 있을 수 있지만 단기적인 이익보다 국가안보가 훨씬 중요하다"고 강조했다. 이어 "AI를 구현하는 칩의 특정 부분을 재설계하여 AI를 구현하면 바로 다음 날 제가 제어할 것"이라고 덧붙였다. 엔비디아의 대변인은 폭스 비즈니스에 "우리는 미국 정부와 협력하고 있으며, 정부의 명확한 지침에 따라 전 세계 고객들에게 규정에 준수된 제품을 제공하기 위해 노력한다"고 말했다. 폭스 비즈니스는 미 상무부는 논평 요청에 즉각 응하지 않았다고 전했다. 미 행정부는 2022년 10월 이중용도로 사용될 수 있는 최첨단 AI 반도체에 대한 중국의 접근을 제한하는 광범위한 수출통제 방안을 발표했으며 지난 10월 추가 통제 조치를 통해 규제범위를 확대했다. 엔비디아는 지난 여름까지 중국 시장에서 수출규제 대상인 AI 반도체 A100과 H100의 강력한 수정 버전인 A800과 H800을 판매해왔다. 그러나 미국 정부는 지난 10월 중순 엔비디아의 L40S와 함께 수정 버전 칩을 수출통제 목록에 추가했다. 게다가 바이든 행정부는 AI칩에 대한 수출통제 대상을 중국뿐 아니라 이스라엘을 제외한 베트남과 사우디아라비아, 아랍에미리트 등 국가들로 확대했다. 엔비디아의 콜레트 크레스 최고재무책임자(CFO)는 지난달 실적발표 자리에서 "최근 분기(2024년 회계연도 3분기) 데이터센터 매출 145억 달러(약 19조 원)의 20∼25%가 수출통제가 적용되는 국가에서 발생했다"면서 앞으로 몇 달 내 수출규제를 위반하지 않는 제품을 생산할 계획이라고 밝혔다. 그는 이어 "이번 분기에는 이들 지역 매출이 크게 감소할 것으로 예상되지만 다른 지역의 강력한 성장으로 감소분을 상쇄할 수 있을 것"이라고 말했다. 이날 야후 파이낸스에 따르면 왕원빈(汪文斌·Wang Wenbin) 중국 외교부 대변인은 4일(현지시간) 베이징에서 열린 정례 언론 브리핑에서 지난달 양국 정상 간 회담을 언급하며 "미국은 올바른 인식을 견지하고 중국과 협력해 샌프란시스코 회담에서 도달한 공통의 이해를 이행해야 한다"고 말했다. 그는 미국이 "중국을 가상의 적으로 간주하고 말만 하고 행동은 다르게 하는 것을 중단해야 한다"고 강조했다. 왕 대변인은 지나 러몬도 상무부 장관의 이러한 입장이 미국의 냉전적 사고 방식과 패권욕을 드러냈다고 말했다.
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미 상무부 "중국 수출통제 피하려 수정설계한 엔비디아 AI 칩도 규제" 경고



